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          行業資訊

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          工業平板電腦廠家的CMP監控系統:使半導體制造的效率更高和跨工廠管理變得更容易
             

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          CMP工藝:高端半導體制造的關鍵

          化學機械拋光,簡稱CMP,在半導體制造中起著至關重要的作用。隨著全球對集成電路集成化和小型化的要求不斷提高,微芯片設計和制造的復雜度顯著提高。在晶圓制造中實現高度重復性和一致性的一個重要關鍵是CMP工藝。CMP工藝使每個晶圓上的電子元件變得平整,這樣當電子元件層疊在一起時,它們將被堆疊起來并精確對齊,從而形成平整的晶圓、精確的表面形貌。

          及時性:眾多機器中故障機器及時處理的困難

          鑒于CMP是半導體制造技術中的一個關鍵過程,大多數晶圓廠都有一個CMP區域,該區域配備有執行該任務的特定機器。然而,制造商在管理CMP機器時經常會遇到一些常見的問題。其中之一就是及時性。當機器發生故障時,操作人員必須首先“發現”與其他眾多機器排列在一起的出問題的機器;然后,他/她必須穿過長長的過道才能“到達”那臺機器的控制裝置。

          這個過程聽起來可能很簡單,但以臺灣半導體制造公司臺積電(TSMC)為例。臺積電晶圓18廠位于臺灣南部科技工業園區,占地42公頃,廠房面積95萬平方米,廠房面積16萬平方米。由于fab的大小相當于25個標準足球場,要找到合適的機器并到達它需要花費太多的時間,這大大增加了機器的停機時間。

          跨工廠管理效率低下:產能共享可能變成額外浪費

          半導體制造商可能面臨的另一個問題是跨工廠管理。例如,臺積電在臺灣新竹科技工業園區擁有多達五家晶圓廠,占地面積約587110平方米。這些晶圓廠的集群化旨在促進產能共享,從而最大限度地降低成本和提高晶圓產量。然而,跨不同晶圓廠的溝通和管理可能是間接和耗時的,浪費了芯片制造商額外的時間和精力。

          更改內部設置?注意不相容性

          人們可能想到的一個解決方案是改變這些CMP機器的電路或編程設置。然而,通過改變現有的電路或添加某些軟件開發包,很可能會發生不兼容。這將導致CMP機器的不穩定性,以及昂貴、復雜的維護程序,這肯定是得不償失的。為了解決這些問題,工業平板電腦廠家提供了一種采用I/O模塊、串行設備服務器和自動化計算機的CMP監控系統解決方案。

          高適應性I/O模塊實現可靠的遠程監控

          在CMP監控系統中,遠程I/O模塊(如工業平板電腦廠家的智能-4117、智能-6217和智能-4055)與流量計和繼電器相連,以檢測來自每個CMP機器的信號。這些I/O模塊具有很強的適應性,因為它們包含諸如簡單布線、高兼容性、用戶友好的狀態讀取以及直觀的圖形和圖表等功能。CMP監控系統由于具有高度自適應的I/O模塊,可以方便地實現工業自動化與企業系統的集成,不僅可以防止CMP機床內部結構的變化,而且可以靈活有效地監控半導體制造企業的機床狀態。

          工業平板電腦廠家的串行設備服務器將每臺CMP機器納入一個共享網絡

          然后通過工業平板電腦廠家的串行設備服務器(如智能-1522和智能-1524)收集數據。它們易于安裝和配置,支持有線和無線網絡,并提供各種操作模式以滿足嚴格的工業自動化需求。在CMP監控系統中,他們將RS-485串行設備引入以太網和Modbus-TCP,保證了網絡的穩定性,F在,每個CMP機器都可以連接和共享一個以太網;此外,由于串行設備服務器的幫助,這些機器現在可以相互點對點通信,而無需任何中間主機和軟件編程。最后,數據被收集并存儲在智能-2178A嵌入式自動化計算機中,用于監控、管理和維護。

          工業平板電腦廠家,可靠的模塊和可靠的服務團隊

          通過采用外部模塊和器件,半導體制造商不再需要擔心不兼容和潛在的機器不穩定。通過提供全面實時數據的集中顯示,操作員可以及時趕到現場、當然也可以跨工廠解決機器問題,從而最大限度地減少停機時間,從而最大限度地提高生產率。此外,工業平板電腦廠家還為系統提供專門的服務團隊,以便制造商清楚地知道需要何時向誰尋求幫助,以及定期向誰尋求維護服務。通過提供綜合監控系統和全面的售后服務,制造商可以專注于開發和生產,同時工業平板電腦廠家協助確保設備滿負荷運行。

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